Niederenergetische Elektronenbeugung mit Energieauflösung

Die niederenergetische Elektronenbeugung (LEED) ist eine etablierte Technik zur Bewertung der Oberflächenatomanordnung. Die Information wird aus den elastisch gestreuten Elektronen abgeleitet. Üblicherweise wird der thermische diffuse Hintergrund zwischen Beugungsflecken als konstant angenommen und als Konstante subtrahiert. Für die Punktprofilanalyse, die die Anordnung von Einheiten wie Inseln oder Domänen vorsieht, muss die elastische Intensität in der gesamten Brillouin-Zone gemessen werden. Die üblichen LEED-Systeme (mit einer Energieauflösung von einigen eV) können nicht zwischen elastischer und thermischer diffuser Streuung unterscheiden. Zu diesem Zweck wurde ein neues Instrument entwickelt. Wir haben die Ablenkeinheit aus einem hochauflösenden LEED‐System mit dem 127°‐Analysator aus einem hochauflösenden Elektronenenergieverlustspektrometer (EELS) in geeigneter Weise kombiniert. Das neue Instrument wurde mit der Oberfläche Si(111), Al(111) und Al(111)+O2 geprüft. Die Energieauflösung (ΔE = 6,7 MeV) ermöglicht die Trennung eines großen Teils der Phononenverluste. Die Impulsauflösung (Übertragungsbreite 150 nm) ist die gleiche wie bei anderen hochauflösenden LEED‐Systemen. Als Ergebnis wird das erste LEED-System mit hoher Impuls- und Energieauflösung vorgestellt (ELS‐LEED).